Това е само предварителен преглед!
Електроннолъчева и йоннолъчева литография
Литографски техники за създаване на нанообекти. Литография - създаване на образи върху подложки от вещество - пластмаса, метал, проводник, диелектрик и др. Нанасят се материали наречени резисти, които са чувствителни към някакъв вид лъчение...